白光干涉测量原理（zego干涉仪原理）

白光干涉测量原理

原理:它是以白光干涉技术为原理,光 源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光 Z终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

chotest白光干涉仪工作原理

白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它是以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

zego干涉仪原理

1、白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，它以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光最终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌光学非接触白光干涉原理对样品进行表面轮廓测量，从而获取样品表面三维形貌。

2、提供强大的多功能的非接触式光学表面测量分析。

3、可以简单快速地测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯式的表面，所有测量无损、快速，且无需样品制备。

4、提供专业的分析软件，可极其精准地描绘和定量分析表面粗糙度、轮廓度、平面度、台阶高度、曲率半径等形貌特征。